三坐標測量儀是一種高精度、高效率的測量工具，可用于各種領域的測量和數據獲取，通過對被測物體進行三維空間坐標系的測量，進而獲得物體的幾何參數和形狀特征。
基本原理是將被測零件放入它允許的測量空間，精確的測出被測零件表面的點在空間三個坐標位置的數值，將這些點的坐標數值經過計算機數據處理，擬合形成測量元素，如圓、球、圓柱、圓錐、曲面等，經過數學計算的方法得出其形狀、位置公差及其他幾何量數據。
三坐標測量儀的結構相對簡單，通常由支撐結構、測頭、計算機系統和軟件等組成。其中支撐結構是整個測量儀器的主體部分，具有很好的剛性和承重能力，可以確保被測工件的質量和重量不會影響測量的精度和穩定性。因此，即使被測工件很重，也不會對三坐標測量儀的動態性能產生影響。這也是三坐標測量儀在制造業中廣泛應用的一個優勢之一。
三坐標測量儀的測量功能包括尺寸精度、定位精度、幾何精度和輪廓精度等。其中，尺寸精度主要指工件的長度、寬度、高度、直徑等尺寸參數的精度；定位精度則是指工件在空間中位置的精度；幾何精度可以測量出工件的圓度、平面度、垂直度、同軸度、直線度等幾何形狀特征的誤差；輪廓精度則是指能夠測量工件輪廓形狀的精度。
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